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CCD直读光谱仪的CCD怎么去理解呢?

发布时间:2020-08-03   点击次数:44次
   CCD直读光谱仪的CCD就是电荷耦合器件,英文名Charge-Coupled Detector简称CCD。它是在MOS晶体管电荷存储器的基础上发展起来的,对电移台的工作有很大的作用,突出的特点是以电荷作为信号,而不是以电流或电压作为信号的。
  CCD直读光谱仪的CCD检测器可看作是许多个光电检测模拟移位寄存器。在光子产生的电荷被贮存起来之后,它们近水平方向被一行一行地通过一个高速移位寄存器记录到一个前置放大器上,最后得到的信号被贮存在计算机里。
  在P型或N型硅单晶的衬底上生长一层厚度约为120-150nm的SiO2层,然后按一定次序沉积m行n列个金属电极或多晶硅电极作为栅极,栅极间隙约2.5μm,于是每个电极与其下方的SiO2和半导体间构成了一个MOS结构,这种结构再加上输入、输出结构就构成了m·n位CCD(m>1,n≥1);当n=1时,CCD器件被称为线阵CCD;当n>1时,则为面阵CCD。
  CCD按受光方式分为前感光和背感光两种。前感光CCD由于正面布置着很多电极,光经电极反射和散射,不仅使得响应度大大减低(量子效率通常低于50%),也因为多次反射产品的干涉效应使倾斜台光谱响应曲线出现马鞍形的起伏;背感光CCD由于避免了上述问题,因而响应度大大提高,量子效率可达到80%以上。
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